首台光刻机搬入,物元进入量产冲刺期
2025年8月1日,物元在量产线园区举行光刻机进驻仪式。青岛市委常委副市长耿涛、城阳区委书记吕鹏与拓荆科技董事长吕光泉博士、芯谋研究首席分析师顾文军、安凯微董事长胡胜发博士、鹏城实验室周斌博士等150余位嘉宾共同见证。
光刻机进驻
在各项目承建方、各供应商连续加班三个月争分夺秒全力配合下,土建机电提前一个月达到光刻机搬入条件。搬入仪式上公司董事长陈为玉对各方表示诚挚感谢!
物元量产线洁净室已完成交付,正式启用
通过ISO 14644-1 Class 5(美联邦标准209E百级)认证
关键参数:≥0.1μm颗粒数≤100个/立方米,温控精度±0.1℃
为Hybrid Bonding(混合键合)工艺提供晶圆级制造环境
关键设备光刻机的进驻,标志着物元进入实质性量产冲刺期!物元一期月产能2万片预计于2025年11月初通线。